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国内首台!中科院旗下公司成功研制半导体行业重

时间:2020-07-03 14:26

  2020年6月22日,中科院长春色机所旗下长春色华微电子装备工程核心有限公司(光华微电子)公告研制凯旋邦内首台商用12英寸全自愿晶圆探针台。

  晶圆探针台是半导体(包含集成电道、分立器件、光电器件、传感器)行业紧急的检测配备之一,用于晶圆加工之后、封装工艺之前的晶圆测试枢纽,认真晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒循序与探针接触并逐一测试。过程检测,探针台将参数特征不吻合恳求的芯片记实下来,正在进入后序工序前予以剔除,从而大幅度消浸器件的创修本钱。

  因为探针台身手门槛较高,目前市集处于双强垄断态势,东京电子(TEL)和东京周到(TSK)两家日本公司攻陷了绝大片面市集份额。我邦相闭单元正在探针台研制方面已有众年身手蕴蓄堆积,产物以8英寸为主,重要面向LED等工业。光华微电子于2015年正式立项发展12英寸全自愿探针台产物研发,先后打破了全自愿上料机器手的策画、大行程微米级XY转移平台周到定位把持身手、高刚度高安定性探针接触Z向转移平台周到把持身手、娱乐平台官网基于图像识其它晶圆和探针周到衡量和瞄准身手、大数据量的音讯管制和打算机把持身手、高平面度和高热安定性的晶圆承载盘身手等六项环节身手,于2019年起先后正在功率半导体器件、光电探测器、逻辑半导体器件的骨干企业举行了样机测试,测试结果声明产物一经也许满意产线分娩恳求,具备替换海外进口装备用于晶圆探针检测才华。

  凭据光华微电子官网先容,光华微电子研制的APT121A型探针台行动邦内第一款贸易化的12英寸全自愿晶圆测探索针台,也许满意12英寸、8英寸晶圆的测试需求,通过高精度定位平台、高刚性晶圆承载台和高折柳率探针相机及俯视相晶圆相机,达成全自愿上下晶圆、对针和高精度测试。其本能目标一经到达或者切近邦际水准,也许消浸晶圆测试厂的采购及保卫本钱,将对我邦的半导体工业发扬爆发主动的促进效用。

  光华微电子公司是中邦科学院长春色学周到机器与物理商讨所机电工程商讨部于2002年转制而创设的一家高科技股份有限公司,近20年来静心于被动电子元件和微电子装备的研发、分娩,其重要产物分散正在晶片电阻分娩装备、半导体分娩装备、激光细密加工装备、周到机器产物等4个周围。正在邦内有巨额中资、娱乐平台官网台资、港资、美资和韩资企业用户,个中晶片电阻分娩装备市集据有率达70%以上。